东方网记者解敏3月29日报道：今天的张江示范区已成为国内产业链最完备、综合技术水平最先进、自主创新能力最强的集成电路产业基地。拥有一批国内领先的装备和耗材企业，在刻蚀机、大硅片、光刻胶、清洗机等细分领域打破国际垄断。

集成电路芯片是智能数码时代的基础，从根本上改变了人类的生产方式和生活方式。2004年，一支来自美国硅谷的海归团队立志回国创业。他们将目光投向了芯片领域，除了专业擅长，当时国内正面临诸多技术瓶颈，尤其在装备方面，几乎没有自主生产的设备。

在心系中国半导体产业的海归博士尹志尧的带领下，他们选择了全力发展中国自主的等离子刻蚀机。光刻机和等离子体刻蚀机是半导体芯片微观加工缺一不可的两种最关键设备，特别是由于波长的限制，14纳米以下的器件更依仗等离子体刻蚀机多重模板的精准加工。相当于在头发丝几千分之一的尺度上，盖高楼、建立交桥。

尹志尧称得上中国半导体领域的一个传奇式的人物，他致力于物理化学反应器的开发和工业化50年。在美国硅谷20年，从事等离子体刻蚀设备的开发，产品管理和市场化。他参与并领导了国际业界一半以上成功的等离子体刻蚀设备的开发，是几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者之一。

“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”那一年他刚好60岁，他选择了在退休的年纪从上海张江这片土地上“从零开始”，率领团队创办了中微半导体设备公司，从此这家企业也与张江紧密地联系在了一起。

最新技术与世界比肩

如果说在米粒上刻字的微雕技艺上，刻200多个字已是极限，而等离子刻蚀机在芯片上加工，相当于在米粒上刻1亿个字。

历经17年潜心研发，中微开发的多个半导体等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备，都进入了国际三强地位，在芯片设备领域实现了与国际最先进水平并轨。开发出生产5纳米器件的设备，与世界最前沿技术比肩。设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用，

如今的中微半导体已经从一个十几人的创业团队，发展到超过700人规模。 成为科创板启动后首批上市企业，并且是第一个科创板达到千亿市值的公司。

涉外诉讼0失败

中微半导体副总裁曹炼生介绍，如今整个行业都正遭受着前所未有的巨大压力。对企业来说一方面要应对各种随之而来的困难，但同时也让更多人知道了什么是半导体、什么是集成电路。大家都很关心，中国的集成电路底发展成什么样了？

2007年，刚刚创立3年的中微刻蚀机就在国际市场崭露头角，研发出第一代介质刻蚀机，在业内首次采用可单台独立操作的双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。

然而就在产品问世的同时，中微遭遇了来自国际巨头的“围堵”。当时有美国企业对中微提起诉讼，理由是“你们这些从硅谷出去的团队一定偷了我们的资料，否则怎么可能在那么短的时间里把刻蚀机做出来。”这种“美国式“的诉讼并不需要现成的证据。幸好，中微也有充足的准备，在产品研发的同时，知识产权部门就在同时梳理潜在的专利风险，确保每一步研发进展不会踩上专利“地雷”。经过2年的第三方取证，彻查了数百万件内部文件，才证明了自己的清白，最终双方获得和解。

中微对所有“海归”雇员规定，“人可以从竞争对手的公司来，但一片纸，一行代码都不允许带过来。”严禁员工窃取前任雇主技术秘密的制度，杜绝了知识产权问题上潜在的“后患”，这也成为历年来，中微在所有涉外诉讼中没有失败的制胜法宝。